저온 플라즈마를 이용해 표면의 유기물·산화물을 분해 제거합니다. 소재 손상 없이 나노 수준의 오염을 제거하며, 반도체·OLED 공정에서 탁월한 효과를 발휘합니다.
자외선을 활용해 표면 유기물을 광분해하고 오존을 생성하여 오염원을 제거합니다. 비접촉 방식으로 정밀 부품에 적합하며 처리 속도가 빠릅니다.
고속 분사된 드라이아이스 펠릿이 오염물에 충격을 가하고 승화하면서 오염원을 비접촉으로 제거합니다. 전자부품·정밀가공품 세정에 특화되어 있습니다.
특수 반응성 가스를 활용해 잔류 이물·화학 오염물을 효과적으로 제거합니다. 2차전지 전극·분리막 공정에서 높은 세정 효율을 달성합니다.
대형 디스플레이 패널 전용 연마벨트 세정기입니다. 국내 대형 패널 세정 분야 TOP 5 경쟁력 보유, CSOT·나인테크 등 글로벌 납품 이력을 갖고 있습니다.