LCD·OLED·Micro LED 패널 제조 공정 중 기판 표면의 미세 파티클·유기물·잔여 오염원을 제거하는 핵심 설비
화학약품·물 없이 플라즈마·UV·가스·드라이아이스로 오염원을 제거하는 차세대 친환경 세정 장비
기존 습식 세정의 한계, 친환경 규제 대응, 수율 개선까지Monotics의 맞춤형 세정 솔루션으로 해결할 수 있습니다.